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产品分类
产品简介
BRAVERY 3000
光调制反射晶圆检测系统
BRAVERY 3000 是具有巨大市场价值的新型晶圆缺陷检测设备，其采用光调制反射技术，可实现对晶圆的非接触、无损伤、在线、快速、内部检测，精准诊断与定位晶圆缺陷，该产品对有/无图案晶圆均适用，可填补当前国内市场离子注入工艺非接触检测设备的国产化空白，实现晶圆注入质量特性检测量产化。
产品特点
非接触非破坏性
有/无图案晶圆皆适用
可作为在线检测设备
无需测前与测后处理，超快检测速度
软件检测操作简单
主要应用
各种离子注入及退火工艺的质量监控
刻蚀等工艺对晶圆损伤的质量监控
产品优势
自研产品，可定制化
可自动生成wafer map等可视化数据
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